設備啟動前進行下列檢查和調試：

1、檢查設備接地是否可靠，電氣部分是否正確。

2、取下電機上彈性聯軸器，啟動電機，檢查電機運轉方向與真空泵殼體旋轉箭頭方向是否一至，然后再裝上聯軸器。

3、檢查真空泵運轉方向與箭頭方向是否一致（詳見真空泵使用說明書）。

4、檢查有關部件的連接螺釘是否擰緊，特別是真空系統的連接螺釘。

5、檢查各轉動機構的傳動是否靈活，有無卡滯。

6、打開蒸發(fā)室，對蒸發(fā)室內壁和內部零件進行清潔，檢查蒸發(fā)室內各電極接線是否正確。尤其注意電阻蒸發(fā)電極是否與防污板相碰。

7、對蒸發(fā)室試抽真空，檢查是否能達到應達到的真空指標。

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